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電感耦合等離子體質譜儀，它是一種將ICP技術和質譜結合在一起的分析儀器。ICP利用在電感線圈上施加的*功率的高頻射頻信號在線圈內部形成高溫等離子體，并通過氣體的推動，保證了等離子體的平衡和持續(xù)電離，在ICP－MS中，ICP起到離子源的作用，高溫的等離子體使大多數(shù)樣品中的元素都電離出一個電子而形成了一價正離子。質譜是一個質量篩選和分析器，通過選擇不同質核比（m/z）的離子通過來檢測到某個離子的強度，進而分析計算出某種元素的強度。是一種靈敏度非常高的元素分析儀器，可以測量溶液中含量在ppb或ppb以下的微量元素，被廣泛應用于半導體、地質、環(huán)境以及食品檢測等行業(yè)中。

電感耦合等離子體質譜儀組成及工作條件

▲由ICP焰炬，接口裝置和質譜儀三部分組成；若使其具有好的工作狀態(tài)，必須設置各部分的工作條件。

▲　ICP工作條件：主要包括ICP功率，載氣、輔助氣和冷卻氣流量。樣品提升量等。ICP功率一般為1KW左右，冷卻氣流量為15L/min，輔助氣流量和載氣流量約為1L/min，調節(jié)載氣流量會影響測量靈敏度。樣品提升量為1ml/min。

▲　接口裝置工作條件：ICP產(chǎn)生的離子通過接口裝置進入質譜儀，接口裝置的主要參數(shù)是采樣深度，也即采樣錐孔與焰炬的距離，要調整兩個錐孔的距離和對中，同時要調整透鏡電壓，使離子有很好的聚焦。